10月18日，國家集成電路產業投資基金二期股份有限公司(下稱“大基金二期”)再度出手，加碼布局半導體濕法清洗設備。

18日盤后，至純科技(603690.SH)公告稱，控股子公司至微半導體(上海)有限公司(下稱 “至微科技”)擬引入戰略投資者，大基金二期和混改基金、中芯國際(688981.SH)等入股。

值得注意的是，這是10月以來，大基金的首筆投資計劃。就在上周末，兆易創新、晶方科技披露了大基金對公司的減持計劃。

大基金二期、中芯國際入股至微科技

根據公告，本次交易前，至微科技注冊資本為4.55億元，依據增資前至微科技25億元的估值，對應5.4945元/注冊資本，共計10家戰略投資者擬合計向至微科技增資4.2億元，其中7644萬元計入注冊資本，其余3.44億元計入資本公積。

本次增資的同時，至純科技將持有的至微科技對應本次增資4.2億元后的7.95%的股權以23,200萬元轉讓給遠致星火，其中4222.40萬元計入至微科技注冊資本，18977.60萬元計入資本公積。在本次遠致星火受讓股權的過程中，所有其他投資人均無條件放棄行使作為公司股東的優先購買權。

定期報告顯示，至純科技主要有三大業務板塊：高純工藝系統、半導體濕法清洗設備、光纖傳感器及光電子元器件。

其中，至微科技是承載至純科技“從工藝裝備支持系統到工藝裝備”、投入濕法設備研發和產業化的主體，累計已獲得濕法設備訂單超過160臺，成為國內濕法設備的主要供應商之一。

根據財報，2020年，至純科技濕法設備出貨量超過30臺，新增訂單5.3億元，增長211.8%。至純科技表示，公司28nm節點全部濕法工藝設備已認證完畢，用戶有中芯國際、華虹集團、長鑫存儲、華為、華潤、燕東、臺灣力晶等等。

國內目前有三家在濕法工藝設備端提供中高階濕法制程設備，分別是至純科技、北方華創(002371.SZ)和盛美半導體。目前，盛美半導體的科創板IPO已經注冊生效。

此外，上述10家戰略投資方不乏多個國資背景基金及科創板上市公司，包括大基金二期、混改基金、上海半導體裝備材料產業投資基金合伙企業(有限合伙)，以及中芯國際旗下投資主體中芯聚源。

科創數據研究中心的研報顯示，截至目前，中芯國際已通過旗下中芯聚源投資了近20家已上市或IPO進程中的半導體企業，包括滬硅產業-U(688126.SH)、芯碁微裝(688630.SH)、芯朋微(688508.SH)、利揚芯片(688135.SH)、格科微(688728.SH)等半導體上市企業;蘇州東微半導體、唯捷創芯等IPO進程中的半導體企業。

大基金一期有序退出、二期持續加碼

今年以來，隨著大基金一期的投資退出期已至，多家半導體龍頭股均被大基金一期實施了減持。另一邊，大基金二期仍在有序投資半導體設備、材料等核心環節。

10月15日晚間，晶方科技(603005.SH)、兆易創新(603986.SH)發布公告稱，國家集成電路產業投資基金股份有限公司(下稱“大基金一期”)將減持公司股份。10月18日，半導體板塊走弱，晶方科技收跌3.61%，報44.27元;兆易創新收跌4.01%元，報149.31元。

根據公告，大基金擬計劃自2021年11月6日至2022年2月5日減持晶方科技不超過408萬股，即不超過公司總股本的1%;擬減持兆易創新股份數量不超過公司股份總數1%，即665.73萬股。而按照目前股價計算，大基金減持上述兩只股累計套現超10億。

這并不是大基金一期年內首次減持上述兩只半導體股。今年一季度，大基金一期減持了晶方科技13.54萬股、減持了兆易創新276.04萬股。

截至目前，大基金一期持有兆易創新3509萬股，占總股本比重5.27%。若本次減持實施完畢，大基金一期持股兆易創新比例將不足5%。

一個多月前，三安光電(600703.SH)、雅克科技(002409.SZ)、萬業企業(600641.SH)3只半導體股公告稱，大基金計劃減持公司股份。

據記者不完全統計，自2019年12月以來，除了上述幾只股以外，長電科技(600584.SH)、北斗星通(002151.SZ)、國科微(300672.SZ)、瑞芯微(603893.SH)、通富微電(002156.SZ)、太極實業(600667.SH)、匯頂科技(603160.SH)等半導體股均披露過大基金一期的減持計劃。、

根據大基金的投資規劃，2014~2019年為投資密集期，2020~2024年為回收期，2025~2029年為發展期。從大基金一期的動作來看，基本按照原定的時間規劃進行。

“可以看到的是，大基金一期的減持方向主要圍繞半導體封測和設計。近年來，在大基金的資金支持下，國內半導體封測和設計環節的企業保持了良好的發展節奏，年內業績表現均兌現了市場預期。投資退出屬于正常的基金運作，不會對企業的中長期發展形成影響。”一位TMT行業的分析師對記者說。

與此同時，從上述大基金二期入股半導體濕法設備的例子中可以看出，大基金二期投資覆蓋設計、制造、封測、材料、設備等環節的同時，更側重投入到更薄弱的設備和材料兩大環節。