8月11日，為期3天的第十一屆(2023年)中國電子專用設備工業協會半導體設備年會暨產業鏈合作論壇在無錫落下帷幕。與會專家指出，國產半導體設備已經取得突破性進展，海外設備進口和本土設備銷售呈現“此消彼長”態勢，并預計2023年國產主要半導體設備制造商訂單有望穩步增長。

本土設備突破性增長

中國電子專用設備工業協會理事長、北方華創董事長趙晉榮在致辭中表示：“半導體設備是支撐電子行業發展的基石，中國半導體市場在過去11年來也規模化地持續發展。尤其是近年來在日益復雜的國際形勢下，本土設備行業更是取得了突破性進步。”

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根據中國電子專用設備工業協會統計，2022年，國內77家規模以上半導體設備制造商銷售收入累計完成593億元，與2021年386億元相比，同比增長53.6%。其中，2022年前十家設備制造商完成銷售收入438億元，占77家合計收入73.9%。目前我國半導體設備及零部件企業的數量也已經超過200家。

趙晉榮指出，過去幾年，國內多家龍頭骨干裝備企業在刻蝕、薄膜、清洗、注入、CMP及封裝測試等關鍵設備方面取得了突破，本土從事材料零部件的龍頭企業也呈現出快速增長的態勢，在射頻電源、流量計、機械手、真空泵、精密石英、高純石墨、高純板材、特種不銹鋼及精細化工材料等方面都取得了突破性進展。

面對疫情、世界經濟衰退和外部壓力加大的三重沖擊，中國半導體設備行業在國內市場的推動下，保持了快速發展態勢。在半導體設備細分賽道中，集成電路設備銷售收入2022年達到319億元，同比增長86.1%，增長速度最快，是實現銷售收入最多的市場，同時集成電路設備也是出口交貨值最大的賽道。

設備進口或再度下降

中國是全球最大的半導體設備市場，本土半導體設備市場在全球市場占比不到10%，但數據顯示，自2017年以來國內集成電路裝備銷售額呈現指數級增長。

中國電子專用設備工業協會常務副秘書長金存忠表示，在海外政策持續升級對華半導體管制背景下，下游用戶擔心未來斷供等風險，使用國產設備的意愿更加強烈，進一步推動了國產設備發展，同時，核心部件替代進口也加快了設備產業化進程，設備核心部件國內供應鏈正在形成并得到快速發展。

根據協會統計，以銷售額為統計口徑，2022年國產半導體設備在中國市場占有率為23%，同比增長3.4個百分點；同時，在國產設備市場占有率提升背景下，海關數據顯示，去年主要半導體設備中國進口額同比減少8.1%。其中，等離子體干法刻蝕機、化學氣相沉積設備(CVD)以及氧化、擴散、退火及其他熱處理爐進口規模位居前三，分別同比減少12.7%、11.9%和9.6%。

“預計2023年中國半導體設備進口額會繼續減少。”金存忠介紹，海關統計數據顯示，今年上半年中國主要半導體設備進口額為72.94億美元，同比減少13.3%。除分步重復光刻機、集成電路工廠專用自動搬運機器人、研磨機和切割設備外，其余設備全部負增長，等離子體干法刻蝕機上半年進口額甚至同比減少近三成。

相比設備進口額預降，國產主要半導體設備制造商訂單有望穩步增長。據協會預測，2023年國產半導體設備銷售收入增長38%左右，將達到817億元。其中，集成電路設備預計增長40%，達到450億元；其次第二大細分板塊太陽能電池片設備預計增長35%，達到310億元。

在行業周期低谷期，今年上半年A股半導體設備類上市公司業績逆勢增長。盛美上海最新公告，今年上半年公司實現凈利潤約4.39億元，同比增長85.74%，公司半導體清洗設備以及其他半導體設備的營業收入均有較大增長。北方華創預計今年上半年實現歸母凈利潤16.7億元~19.3億元，同比增長121.30%~155.76%；中微公司預計今年半年度實現歸母凈利潤9.8億元~10.3億元，同比增加109.49%~120.18%，扣非后凈利潤同比增加13.45%~22.53%。

產業鏈加強協作攻關

雖然國產半導體設備在諸多領域實現了從0到1的突破，但是關鍵設備、零部件以及滿足特殊工藝生產需求的國產半導設備依舊缺乏，良率、穩定性等還待進一步提升，在全球半導體設備市場的規模依舊偏小。

金存忠指出，國產半導體設備進一步發展，還亟需解決光刻機等關鍵設備國產化率低等問題，目前國產制造商能夠制造的主要是先進封裝和LED領域的光刻機，而且光刻機的難點不僅在制造出來，還要保證設備的效率和良率。另外，關鍵零部件成本在設備進口成本占比較大等問題，有的廠商反饋零部件成本占比高達六成。

作為半導體設備終端用戶，半導體制造廠商尤為關注生產效率和良率，就需要設備廠商與產業鏈進一步合作，攻關克難。

“沒有95%以上的良率沒有把成本降下來，企業是不能生存的，而且生產的越多，虧損的越多。”中國電子專用設備工業協會副秘書長、積塔半導體(上海)有限公司總工程師李晉湘表示，建議半導體制造企業和設備企業、材料廠商等進一步深化合作，推動工藝持續進步，不僅攻克具有經濟效益規模而難度小的設備，也要挑戰量小而難度大的設備，并且加強半導體設備的配套軟件開發，建立和完善培訓系統，讓國內工程師能夠掌握和使用好本土設備。